前提条件意大利联帮区政府颁发的要求【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将洁净室可分成六级。依次是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,要洁净室的高级别仅需要用尘粒金额来说明性,则可比如尘粒的的尺寸图大小图是0.5um,洁净室高级别应以既定尘粒的尺寸图大小图的级数来表达出来。随后:10级在0.2um(尘粒的尺寸图大小图在0.2um或不下,强度不于75颗/万立方米公尺),1级在0.1um(尘粒的尺寸图大小图在0.1um或不下,强度不于35颗/万立方米公尺)。
据查到无尘灰室品级规范规定的新版本较多,既而版主就归整俩个较经常使用的区划规范规定,分别是是时代国际规范规定 IOS14644-1、中国人规范规定 GB/T16292-1996,主要商品详情参考下表:
空气洁净度分级标准:IOS14644-1(国际标准)
空气当中洁净并用度中等级(N) | 达到或等于6所标比表面积的塑料再生颗粒明显浓度值限制值(个/每每立方米冷空气塑料再生颗粒) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
ISO Class 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
注:原因涉及到测量方法工作的不判别性,故规范用不超过了四个可以有效的含量号码来判别级别含量 |
空气洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准)
孔径、熟知超钻戒颜色水平 | 玦尘上限能够数/立米米 | 微的微生物最大的能数 | ||
≥0.5um | ≥5um | 浮游菌/万立米 | 沉降菌/皿 | |
100级 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
10000级 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
100000级 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
300000级 | 10500000 | 60000 | - | 15 |
乱流式(Turbulent Flow):
氧气由空调机箱经的管道与没有灰尘室生产线上内的氧气滤水器(HEPA)进人没有灰尘室室,并由没有灰尘室生产线上二边隔断房间板墙或高架地坪漆回风口。气体非虚线型运转呈不准则之乱流或电磁阶段。此技术要求实应用于没有灰尘室室游戏等级为1,000-100,000级的。
优点:构造简单、系统建造成本低,无尘室扩充比较容易,在某些特殊用途场所可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染产品。另外若系统停止运转再激活,欲达要求的洁净度,需耗时相当长一段时间。
层流式(Laminar):
层免疫印迹气氛气体自行车运动成粗糙的直线状,气氛由复盖率100%的活性炭滤器进来房间,并由高架实木地板或两边轻质隔墙面装饰板送风,此类型适用人群于洁净室高层级业务需求较高的生态使用的,一半其洁净室高层级为Class 1~100。
其型号规格可有多种:
?无尘车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁的回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
?无尘车间垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可获得较高的洁净度,在生产中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外并不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易受作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type):
结合式是将乱免疫印迹细胞术及层免疫印迹细胞术给以结合使用,可带来了小面积的超卫生冷空气。
无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,超大规模集成电路生产大都采用此种型式。
美观所谓的隧道另有二项优势:柔软性扩大简易 、售后维修保养装备时可在售后维修保养区草率执行工作。
无尘车间洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量的送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线最适宜使用。药品、食品及半导体均适用。
无尘车间并装局部无尘室(Clean Spot):将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上,为生产用。
遮蔽率
无尘灰级别为 | Air Change(次/hr) | HEPA遮蔽率 |
Class 100 | 240-480 | 50%-100% |
Class 1000 | 17-240 | 10%-35% |
Class 10000 | 10 | 8%-10% |
Air Change:FFU的从表面积*风量*FFU使用量/没有灰尘室大小
HEPA遮蔽率:FFU的外壁积*FFU用户/洁净室建筑面积
风速、温湿度
气体流动流速为:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)
普通室温调整范围图:T=(21±2)℃
一半内部含水率管控面积:(45±5)%RH
压差
在这两个无尘室间适宜的结构设计负荷差应该为10Pa,而在无尘室和未核实无尘级别的空间区域应确保有15Pa的负荷差。当出现这样负荷差有现场难点时,稳定5Pa的面值最小负荷差是能接手的。
构成要求
A.不是因为室温的变化与机械振动而引发缝隙
B.容易造成微尘塑料颗粒,且难粘附塑料颗粒
C.吸湿性性小
D.想要持续房间之环境湿度状况,热隔绝性要高
文章介绍的来都因为:膜切易有通